Özelleştirilmiş destek
OEM, ODM
malzeme
Paslanmaz çelik/silikon/silikon nitrür, vb
Doğruluk
% 0,3 f. s. (% 30 f. s.) / % 1.0 s. p. (> % 0,3 f. s.)
Gaz gereksinimleri
Temiz, kuru ve aşındırıcı olmayan gaz
Gaz
Hava, n2, ar, co2, o, h2, ch4, o2 ve benzeri
Akış aralığı
(0 ~ 10, 100, 200, 300, 500) sccm (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10,20) slm
Sızıntı bütünlüğü, dıştan takma
1x10-9 pa m3/s o
Tekrarlanabilirlik
± % 0,2 f.s
Çalışma sıcaklığı
0 ~ 50 ℃
Çalışma nemi
% 10 ~ % 90 rh (donmuş ve yoğuşma yok)
Güç kaynağı
Dc24v, dalgalanma wave≤ 50mv