Sınıflandırma
Laboratuvarısıtma ekipmanları
Özelleştirilmiş destek
OEM
Model Numarası
XY-1200PECVD
Ürün adı
Plazma gelişmiş kimyasal buhar biriktirme fırın
Tipi
1200C PECVD tüp fırın
Çalışma sıcaklığı
<= 1100 ℃
Tüp malzeme
Yüksek saflıkta kuvars tüp
Sıcaklık kontrolü
30 segment programlanabilir kontrol
Tüp diamter
40mm,60mm,80mm,100mm veya gereksinimleri gibi
Gaz sistemi
Üç veya dört gaz kanallar, oksijen, azot, argon hareket.